项目介绍
MEMS设计能力--提供微惯性传感器件、微特电机、引信安全与保险机构、辐射探测器、SCB、微带电路、RF MEMS、微流体和MEMS火工品等领域的器件级或系统级设计;
MEMS加工能力--可为用户提供标准的4英寸硅MEMS加工,包括高深宽比深硅刻蚀、双面对准光刻、硅-玻璃衬底键和、LPCVD、RIE、CMP、激光切割、超声波打孔、磁控溅射、离子注入等;
MEMS测试能力--中心可为用户提供各种MEMS器件性能测试;为传感器的灵敏度、幅值线性度、零漂性能、以及抗冲击性能进行测试,提供从10g到10000g、5000g到200000g冲击加速度,精度优于5%;测定电荷、电压、电流等多种输出的传感器频率特性,精度优于3%等。
应用领域
惯性传感器设计和制造;
微特电机设计和制造;
引信安全与保险机构设计与制造;
辐射探测器设计与制造;
半导体桥点火具设计与制造;
爆炸箔设计与制造;
微带电路设计与制造。
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