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微电子与微机电技术

2016-11-11 来源：本站点击：4754 T+ T-

项目介绍

MEMS设计能力--提供微惯性传感器件、微特电机、引信安全与保险机构、辐射探测器、SCB、微带电路、RF MEMS、微流体和MEMS火工品等领域的器件级或系统级设计；

MEMS加工能力--可为用户提供标准的4英寸硅MEMS加工，包括高深宽比深硅刻蚀、双面对准光刻、硅-玻璃衬底键和、LPCVD、RIE、CMP、激光切割、超声波打孔、磁控溅射、离子注入等；

MEMS测试能力--中心可为用户提供各种MEMS器件性能测试；为传感器的灵敏度、幅值线性度、零漂性能、以及抗冲击性能进行测试，提供从10g到10000g、5000g到200000g冲击加速度，精度优于5%；测定电荷、电压、电流等多种输出的传感器频率特性，精度优于3%等。

应用领域

惯性传感器设计和制造；

微特电机设计和制造；

引信安全与保险机构设计与制造；

辐射探测器设计与制造；

半导体桥点火具设计与制造；

爆炸箔设计与制造；

微带电路设计与制造。

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